精密干涉儀主機(jī)

精密干涉儀主機(jī)：分束器及補(bǔ)償板的平面度優(yōu)于1/10λ測微螺旋最小分度對應(yīng)動(dòng)鏡行程0.00025mm，動(dòng)鏡行程0.625mm法布里-珀羅反射鏡90%反，1%透，直徑30mm；模塊化，便捷拆卸，可自行組裝，調(diào)節(jié)。

激光器

He-Ne激光器：長度270mm，外徑46mm，氦氖激光器，632.8nm,TEM00，功率1.0mW,發(fā)散角<5mrad，單模輸出；帶有專用電源，尺寸：200*180*70mm；支架：可卡裝50mm以內(nèi)的激光器或其他管狀物，表面噴砂氧化處理，保證質(zhì)量的同時(shí)外觀的美度也大大提升。

調(diào)整架

磁吸式擴(kuò)束器、延伸架、薄膜夾持架，兩用觀察像屏，透明薄片，擴(kuò)束鏡架，轉(zhuǎn)動(dòng)延伸架保證即使兩個(gè)光學(xué)件靠近，也可使其上兩個(gè)光學(xué)件對稱偏離光軸；三維精密調(diào)整架等；角度精度±4′，分辨率0.005mm，調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)保證等雙軸等高，橫向偏差1′，縱向偏差1′

光學(xué)元件

BK7 精密退火材料，焦距±2%，直徑-0.2mm，中心偏差3′，光圈1-5；局部誤差為0.2-0.5，面粗糙度60/40（Scratch/Dig），氟化鎂增透膜鍍膜，有效孔徑90%；反射鏡，擴(kuò)束鏡4.5等；

毛玻璃屏

直徑60mm，高強(qiáng)度鋁合金外框，表面噴砂氧化處理

氣室

氣室測空氣折射率，長度：80 mm

光源

鎢/納雙燈(用于白光干涉)，鈉燈20W；溴鎢燈15W，6V/3V，含電箱控制驅(qū)動(dòng)器

精密電動(dòng)平移臺

步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，自動(dòng)調(diào)整;

高精度的滾珠絲桿，分辨率高；

高精度交叉滾柱導(dǎo)軌副，結(jié)構(gòu)緊湊，運(yùn)行平穩(wěn)；

合適科研及工業(yè)客戶，可以組成二維、三維調(diào)整臺

行程 ：15mm

臺面尺寸： 40x40mm

導(dǎo)軌形式： V-shaped guide rail+ cross   roller

導(dǎo)程：1mm

分辨率：(8細(xì)分   0.0006125mm

max速度 ：4mm/s

重復(fù)定位精度： <0.001mm

直線度： 0.002mm

平行度： 0.002mm

回程誤差為： <0.0005mm

上下擺動(dòng)： 25"

左右擺動(dòng)： 20"

max負(fù)載： 5kg

自重： 0.4kg

電器控制

步進(jìn)電機(jī)： 28BYH250B(1.8°)

線纜接口： DB9

極限傳感器： ITR20403 (EVERLIGHT)(2個(gè))

零位傳感器： ITR20403 (EVERLIGHT)(位于行程中間)

傳感器輸入電壓： DC12V~DC24V

傳感器輸出電壓： DC12V~DC24V

傳感器輸出形式： 集電極開路 NPN

驅(qū)動(dòng)控制器

控制一維到三維電動(dòng)位移臺；

集穩(wěn)壓電源、驅(qū)動(dòng)器、控制器于一體，采用32位微處理器；

漢字液晶顯示，漢字智能鍵盤；

菜單式操作，可作運(yùn)行速度、加速度、歸零速度、回差、細(xì)分、步進(jìn)當(dāng)量等多種設(shè)置。每個(gè)軸可獨(dú)立設(shè)置參數(shù)；

提供光電開關(guān)信號，先進(jìn)的細(xì)分驅(qū)動(dòng)設(shè)計(jì)，可達(dá)64細(xì)分，電流可調(diào)，確保電移臺處于穩(wěn)定運(yùn)行狀態(tài)；

標(biāo)準(zhǔn)RS232接口，可與計(jì)算機(jī)相連，通過計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)電動(dòng)位移臺的操作，操作界面直觀，軟件功能豐富，開放源程序，提供二次開發(fā)平臺。

壓電陶瓷

輸出正弦波調(diào)制幅度：0-250V連續(xù)可調(diào)；輸出直流偏置電壓0-25V，連續(xù)可調(diào)；輸出頻率：20-50Hz

數(shù)顯計(jì)數(shù)裝置

供電電源：DC=9V

光電探測組件：6×6感光面 

計(jì)數(shù)范圍：0-9999

相應(yīng)時(shí)間：≤0.2S 

光譜響應(yīng)范圍：300-1000nm

底座配套干涉儀·使用，主體部分可單獨(dú)用于測量條紋明暗變化數(shù)值

采用迭代采樣法，具有防抖動(dòng)功能

工作條件

使用環(huán)境   (溫度在15℃～40℃，濕度20%-80%)

無強(qiáng)振動(dòng)源、無強(qiáng)電磁場干擾。

室內(nèi)保持清潔、無腐蝕性氣體；且與墻面墻體盡量保持一定的距離

CCD攝像頭+測量軟件

測量精度：0.001MM

分辨率：2592X1944P25幀

輸出接口：USB3.0輸出

相機(jī)功能：圖像拼接、景深融合、鏡像

相機(jī)像素：500萬像素

外接設(shè)備：臺式電腦或電腦筆記本

操作方式：鼠標(biāo)

基本功能：拍照、錄像、測量、存儲

畫質(zhì)調(diào)整：曝光、白平衡、色彩、顏色可調(diào)

功能描述：

移動(dòng)：移動(dòng)畫面上的測量工具，整體移動(dòng)或者移動(dòng)某一個(gè)端點(diǎn)

點(diǎn)：標(biāo)注圖像上的某一點(diǎn)

直線： 繪制一條直線，測量直線的長度

折線： 繪制折線，鼠標(biāo)右鍵結(jié)束繪制，測量折線的總長度

矩形： 繪制一個(gè)長方形，測量長方形的面積

不規(guī)則多邊形： 繪制不規(guī)則多邊形，鼠標(biāo)右鍵結(jié)束繪制，測量多邊形的面積

圓： 圓心和半徑確定圓，測量圓的半徑、面積

兩點(diǎn)定圓： 直徑與圓周的兩點(diǎn)確定一個(gè)圓，測量圓的半徑、面積

三點(diǎn)定圓： 圓周上的三個(gè)點(diǎn)確定一個(gè)圓，測量圓的半徑、面積

圓?。喝齻€(gè)點(diǎn)確定一段圓弧，測量圓弧的長度

角度： 測量角度

點(diǎn)線距： 測量一個(gè)點(diǎn)到一條直線的垂直距離

刪除： 刪除一個(gè)測量工具，選擇刪除工具后，點(diǎn)擊畫面上測量工具的某一點(diǎn)端點(diǎn)，刪除測量工具  

全部刪除： 刪除畫面上的所有測量工具

導(dǎo)出：導(dǎo)出測量數(shù)據(jù)到cSV文件中，可用Excel打開